Quimicos eletronicos umidos fazem a limpeza, o ataque e a remocao de residuos que nenhum processo a seco substitui por completo. Sao consumidos em grande volume, tocam a superficie do wafer diretamente nos pontos mais sensiveis a defeito, e a contaminacao introduzida por um quimico muitas vezes so aparece no teste eletrico. Este guia cobre o sistema de graus, o mapa processo-quimico e as verificacoes que importam na compra da China.
O sistema de graus SEMI
Quimicos umidos sao classificados pelo nivel maximo de impureza metalica, e nao pela dosagem, porque e a contaminacao metalica traco que mata dispositivos, nao uma diferenca de 1% na dosagem. A referencia do setor e a serie SEMI Chemical Grade, do Grade 1 para uso industrial geral ao Grade 5 para os nos mais avancados. Como referencia, o Grade 1 tolera metais na faixa de partes por milhao, os Grades 2 e 3 vao para a faixa alta de partes por bilhao, e os Grades 4 e 5 exigem baixas partes por trilhao para elementos criticos como ferro, cobre, sodio e potassio. Especifique sempre contra o documento SEMI do quimico especifico, porque os nomes de grau sozinhos nao fixam todos os elementos.
Mapa de processo para quimico
Remocao de particulas e organicos
SC-1, tambem chamado APM, e uma mistura de hidroxido de amonio, peroxido de hidrogenio e agua, que remove particulas e organicos por ataque lento da superficie.
Remocao de metais
SC-2, ou HPM, usa acido cloridrico, peroxido de hidrogenio e agua para remover contaminacao metalica, em especial metais nobres e pesados.
Remocao de fotoresiste e residuos
SPM, a mistura de acido sulfurico e peroxido conhecida como piranha, remove fotoresiste e organicos pesados. NMP, PGMEA e outros solventes tratam residuos especificos, e removedores dedicados atendem residuos pos-ataque e pos-implante que a piranha nao alcanca.
Ataque de oxido
Acido fluoridrico diluido remove oxido nativo e quimico. O BOE mistura HF com fluoreto de amonio para taxa de ataque estavel e maior seletividade ao fotoresiste.
Reveladores e quimicos auxiliares
TMAH e o revelador padrao livre de ions metalicos para fotoresiste positivo, fornecido em normalidade controlada. Isopropanol e usado como solvente de secagem e preparacao. Acidos sulfurico, nitrico, fosforico e cloridrico grau eletronico sao usados em limpeza, ataque e preparo analitico.
Eixos de especificacao
1. Dosagem e normalidade
Para um revelador ou ataque a concentracao define o resultado, entao especifique a dosagem com tolerancia, por exemplo TMAH a 2,38% em massa com faixa estreita, e exija o valor medido por lote.
2. Perfil de impurezas metalicas
Exija um maximo por elemento, medido por ICP-MS, ao menos para ferro, cobre, sodio, potassio, calcio, aluminio e zinco. Um numero unico de metais totais esconde os elementos que mais importam, em especial cobre e ferro.
3. Contaminacao por particulas
Limites de particulas sao dados como contagens acima de um limiar de tamanho, comumente 0,5 micrometro e, para graus avancados, 0,2 micrometro ou menos, por mililitro. Como esses quimicos existem para remover particulas, adicionar particulas e contraditorio, logo esta especificacao nao e negociavel.
4. Teor de agua
Para solventes organicos como IPA e NMP, o teor de agua e especificacao real, porque a umidade absorvida altera a secagem e pode hidrolisar residuos. Exija um maximo medido por titulacao Karl Fischer.
5. Aparencia e cor
Cor e turbidez sao indicadores rapidos de contaminacao organica ou por particulas e valem como verificacao de recebimento.
Embalagem e armazenamento
- Frascos de PFA e tambores com revestimento de PFA para os quimicos de grau mais alto, porque vidro e plastico nao tratado liberam metais e particulas.
- Tambores de polietileno de alta densidade para graus gerais, em 25 litros, 200 litros e maiores.
- Tanques ISO e caminhoes a granel para acidos de volume muito alto, com os mesmos limites de impureza.
- Purgamento com nitrogenio onde o quimico e sensivel ao ar, e recipientes opacos para peroxido de hidrogenio, que se decompone com luz e calor.
O prazo de armazenamento tambem e especificacao. Peroxido de hidrogenio e misturas com peroxido perdem concentracao com o tempo e devem rodar em primeiro que entra primeiro que sai, com prazo maximo definido. Confirme validade e faixa de temperatura de cada produto.
Analise e documentacao
Peca certificado de analise por lote com valor medido, unidade e metodo de cada parametro. Os metodos relevantes sao ICP-MS para metais, cromatografia ionica para anions e contaminacao ionica traco, contador de particulas liquidas e titulacao Karl Fischer para agua. Um certificado que liste apenas dosagem e cor nao prova a alegacao de grau eletronico.
Verificacoes antes de fechar
- Peca amostra e analise de forma independente contra sua especificacao antes de qualificar para volume de producao.
- Confirme o material da embalagem e exija a resina do recipiente e qualquer revestimento.
- Cheque consistencia entre lotes ao longo de varios lotes, nao apenas a amostra de qualificacao.
- Verifique a cadeia de transporte e armazenamento do enchimento ate a sua planta.
- Acorde um prazo de amostra retida para rastrear um evento de contaminacao.
Erros comuns de compra
- Comprar apenas por dosagem e ignorar o perfil de metais e particulas.
- Aceitar um numero unico de metais totais em vez de especificacao por elemento.
- Nao considerar a embalagem. Quimico de grau alto em recipiente errado chega contaminado.
- Esquecer a validade e usar peroxido fora de especificacao que ficou um ano no armazem.
- Presumir que a concentracao do revelador esta correta so porque diz 2,38%.
Quimicos eletronicos umidos de Hunan e da China
A China construiu capacidade domestica substancial em acidos, solventes e reveladores grau eletronico, apoiada por uma grande industria quimica de base e pela migracao da fabricacao de wafers para a regiao. Hunan abriga fornecedores de quimicos eletronicos e materiais semicondutores. A LiiFoo mantem perfis verificados no cluster de materiais de ponta.
Para cotacoes alinhadas a especificacao, amostras de qualificacao ou revisao de compatibilidade de embalagem, veja o cluster acima ou fale com nossa equipe.
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